氮化硅是一種重要的新型結(jié)構(gòu)陶瓷材料，強(qiáng)度高，尤其是熱壓氮化硅，是世界上最堅(jiān)硬的物質(zhì)之一。氮化硅極耐高溫，可以在1200℃高溫下保持強(qiáng)度不下降，直到1900℃才會(huì)分解，且具有驚人的耐化學(xué)腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機(jī)酸和30%以下的燒堿溶液，同時(shí)又是一種高性能電絕緣材料。

氮化硅高密度、超硬度、潤(rùn)滑性、耐磨損、耐腐蝕、耐高溫和不易傳熱的優(yōu)點(diǎn)，使其廣泛應(yīng)用于軸承、氣輪機(jī)葉片、永久性模、陶瓷密封環(huán)等機(jī)械構(gòu)件及熱電偶管、火箭噴嘴、熔解金屬的坩堝等高溫零部件的制造。

但是氮化硅中陰離子雜質(zhì)尤其是鹵素會(huì)對(duì)相關(guān)接觸部件造成嚴(yán)重腐蝕，從而影響構(gòu)件的機(jī)械強(qiáng)度和密封環(huán)的密封效果，因此對(duì)氮化硅中陰離子雜質(zhì)的準(zhǔn)確測(cè)定具有重要意義。

采用盛瀚CIC-D150智能型離子色譜儀，使用SH-AC-11色譜柱可以測(cè)定氮化硅中的陰離子。

稱取約1g的樣品（粉末樣品），記錄質(zhì)量（精確至0.001g），加入100mL超純水，超聲提取30min，靜置，取上清液過0.22μm濾膜進(jìn)樣分析；取100mL超純水同等條件下處理，過0.22μm濾膜進(jìn)樣分析作為對(duì)照組。

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盛瀚CIC-D150型離子色譜儀定位于智能化，實(shí)現(xiàn)了手機(jī)APP遠(yuǎn)程操控、定時(shí)開機(jī)預(yù)熱，智能大屏實(shí)時(shí)顯示儀器參數(shù)和運(yùn)行狀態(tài)，一鍵智能維護(hù)等功能，使用更加便捷大大提高了實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力和用戶體驗(yàn)。

D150具有高精度、可靠的分析能力，無需設(shè)置量程，輕松實(shí)現(xiàn)100ppb-100ppm濃度樣品的同時(shí)測(cè)定，設(shè)置微型氣液分離器，可將淋洗液中的氣泡進(jìn)行分離。

樣品1譜圖

樣品2譜圖

注意事項(xiàng)

實(shí)驗(yàn)過程中易受到污染，要求實(shí)驗(yàn)人員嚴(yán)格按照操作規(guī)程操作。

可行性分析及結(jié)論

通過上述實(shí)驗(yàn)證明，該檢測(cè)方法分離度良好，適用于樣品中待測(cè)組分含量的測(cè)定。